首页> 中国专利> 离子产生装置、具有离子产生装置的离子产生器以及具有离子产生器的电子设备

离子产生装置、具有离子产生装置的离子产生器以及具有离子产生器的电子设备

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

在电介质体(3)内部提供U形感应电极(5)，并且在电介质体(3)上提供格栅形状的放电电极(4)。格栅的每个单元具有在开口中向内突出的尖端部分(24)。每个尖端部分(24)的尖部与感应电极(5)交叠。放电电极(4)具有多个相同图形的格栅，并由线性对称图形形成。涂层(8)形成在电介质体(3)上，以便覆盖电介质体(3)上的放电电极(4)。不存在放电电极(4)的区域中的涂层(8)的厚度小于放电电极(4)的厚度。

著录项

公开/公告号CN2812353Y

专利类型
公开/公告日2006-08-30

原文格式PDF
申请/专利权人夏普株式会社;
展开▼

申请/专利号CN03900011.7
发明设计人世古口美德;杉冈亮一;漆崎正人;
展开▼

申请日2003-08-11
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人浦柏明
地址日本大阪市
入库时间 2022-08-21 22:51:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-11-06

专利权有效期届满 IPC(主分类):H01T23/00 授权公告日:20060830 期满终止日期:20130811 申请日:20030811

专利权的终止
2006-08-30

授权

授权

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 离子产生装置、具有离子产生装置的离子产生器以及具有离子产生器的电子设备 [P] . 中国专利： CN2812353Y . 2006.08.30
2. 一种光水离子化系统与负离子产生器的融合应用装置 [P] . 中国专利： CN209301807U . 2019.08.27
3. Ion beam generator, ion implantation apparatus including an ion beam generator and method of using an ion beam generator [P] . 美国专利： US9786470B2 . 2017-10-10

机译：离子束产生器，包括离子束产生器的离子注入装置以及使用离子束产生器的方法
4. ION BEAM GENERATOR, ION IMPLANTATION APPARATUS INCLUDING AN ION BEAM GENERATOR AND METHOD OF USING AN ION BEAM GENERATOR [P] . 美国专利： US2017178861A1 . 2017-06-22

机译：离子束产生器，包括离子束产生器的离子植入装置以及使用离子束产生器的方法
5. The nozzle for the plasma generator, the plasma generator, the plasma finishing device, in the peripheral face of plasma generation manner and the plasma [P] . 日本专利： JP4953255B2 . 2012-06-13

机译：等离子产生器的喷嘴，等离子产生器，等离子整理装置，等离子产生方式的外周面和等离子