射频激励扩散型冷却千瓦级CO₂激光器

摘要

一种射频激励扩散型冷却千瓦级CO₂激光器,由真空腔内的射频输入板条状中间电极和两个接地板条状电极构成一对矩形的放电空间,中间板电极和两个接地电极间施加一个射频场,与偏轴折叠非稳谐振腔或与并列非稳谐振腔相匹配,偏轴折叠非稳谐振腔由偏轴凹面高反射镜,带激光光束方形输出耦合孔的偏轴凸面高反射镜和两个45度角平面高反射镜构成,并列偏轴非稳谐振腔由一对平行的偏轴非稳谐振腔构成,形成一个紧凑型的高功率气体激光器。