用于软X射线波段的透射光栅光谱仪

摘要

一种用于软X射线波段的透射光栅光谱仪,含有机械构件和光学元件。机械构件包括置于头部前端位于真空靶室内的差分泵浦部件、置于头部后边的外套筒,外套筒内有放置调整架的悬挂式导轨。光学元件含有置于差分泵浦部件前靠近真空靶室内软X射线源的抗激光破坏性强的片状材料构成的狭缝。沿软X射线束S前进的方向上,有轮胎镜的反射镜、无支撑大面积透射光栅。适用于软X射线波段内激光与脉冲气体靶相互作用光谱特性的测试。