晶体生长过程实时显示诊断装置

摘要

本实用新型涉及一种晶体生长过程实时显示诊断装置。该装置由测试晶体生长速率的显微迈克尔逊干涉仪和流场显示测量固液界面浓度边界层的定量干涉计量部分组成,使用长工作距物镜和He－Ne激光器作光源,包括空间滤波器、分束镜、PZT全反镜、显微物镜、过渡透镜、电荷耦合器件;显微物镜成象在CCD上,载物台由PC计算机控制的步进电机调节;参考光与物光在CCD的靶面上形成干涉图输送给图象处理系统进行分析处理、打印输出。