CMOS恒温集成流量传感器

摘要

本实用新型采用功率的变化作为对流速的量度，只采用一只NMOS管作为温度敏感元件，并且在整个芯片中全部采用MOS器件，将温度敏感元件，运算放大器、加热元件用常规CMOS硅栅等平面工艺实现单片集成，采用单一的5V电源工作，并采用CMOS运算放大器控制芯片温度恒定，灵敏度很高。它可用于各种气体和液体的测量，流速的测定，集成电路生产工艺中的实时控制，还可用于其它量(如真空等)的测量。