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用于透射显微镜和扫描显微镜的钨箔网及其制作方法

摘要

本发明提供了一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钨箔网,所述钨箔网的厚度为0.01mm~0.05mm,网孔的孔数为1目~600目。本发明制作该钨箔网的方法包括绘图、钨箔处理、光刻胶、前烘烤、曝光、显影、漂洗、后烘烤、刻蚀和去胶。通过本发明的制作方法得到的电子显微镜钨箔网的网孔清晰、孔壁光滑。

著录项

  • 公开/公告号CN103137405B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京新兴百瑞技术有限公司;

    申请/专利号CN201110375319.9

  • 发明设计人 张继明;田连建;

    申请日2011-11-23

  • 分类号

  • 代理机构北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人付晓青

  • 地址 100080 北京市海淀区中关村北二条13号2号楼015室

  • 入库时间 2022-08-23 09:37:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-04-06

    授权

    授权

  • 2013-08-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/20 申请日:20111123

    实质审查的生效

  • 2013-06-05

    公开

    公开

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