一种基于柔顺结构六自由度的精密定位平台

摘要

本发明公开了一种基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，包括运动平台和测量机构，基座、输出平台、3个位移放大器；所述基座上设有3个第一驱动器，3个所述位移放大器的上端均固定于输出平台的下面，下端均与基座连接；3个所述位移放大器中均设有第二驱动器。本基于柔顺结构六自由度的精密定位平台的尺寸小、工作空间小，且定位精度高和稳定性高。