一种双频激光位移和角度干涉仪

摘要

一种双频激光位移和角度干涉仪，包括由左向右依次设置的稳频双频激光器、部分反射分光镜、干涉组件、倍程组件和靶镜组件，还包括第一光电转换单元、第二光电转换单元、第三光电转换单元以及与其连接的相位测量模块；干涉组件包括自上而下设置的第一角锥棱镜、第一四分之一波片、非偏振分光棱镜和第一偏振分光棱镜；倍程组件包括自上而下设置的第二角锥棱镜、第二偏振分光棱镜和反射镜；靶镜组件包括角锥棱镜夹持底座及粘接在其内的第三角锥棱镜和第四角锥棱镜；本发明通过增加干涉组件A部分，解决了没有位移信息的问题；通过改进倍程组件B部分，单个角锥棱镜的位移量为光学四细分，因此角度测量为光学四细分。位移测量为光学八细分，测量分辨率提高。