垂直耦合马赫-曾德干涉式微环谐振腔光学生化传感芯片

摘要

本发明的垂直耦合马赫-曾德干涉式微环谐振腔光学生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体，SOI基体的单晶硅层包含U型波导和微环谐振腔；所述微环谐振腔位于U型波导的正上方，二者重叠并在U型波导平面的垂直方向耦合。该生化传感芯片在微环谐振腔的梳状透射谱线中与MZ干涉梳状透射谱线峰值相对应的谐振峰由于调制的作用将使得该透射谱线非常的尖锐，所以这种传感器除了具有很大的自由光谱范围之外，还具有很高的品质因子。