一种基于CuO-NiO核壳结构的异质结NO₂气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于CuO/NiO核壳结构的异质结NO₂气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al₂O₃衬底、Pd金属插指电极、在插指电极上制备的CuO-NiO核壳结构异质结纳米微球敏感层组成；其中CuO/NiO核壳结构纳米微球敏感层的厚度为2～4μm，粒径为600～800nm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm，厚度为100～150nm。采用CuO/NiO核壳结构纳米微球作为敏感材料，不但应用了其较高比表面积，还可以有效地利用CuO/NiO核壳结构纳米微球的异质结构提高气敏响应。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。