双材料悬臂梁应力匹配方法

摘要

本发明提供了一种双材料悬臂梁的应力匹配方法，包括：在衬底上形成第一下层薄膜，具有第一应力和第一厚度；在第一下层上形成第二下层薄膜，具有第二应力和第二厚度，其中第一下层和第二下层为不同方法形成的同种材料；在第二下层上形成上层薄膜，具有第三应力，其中，调整三层薄膜厚度，使得第一下层、第二下层与上层达到力矩平衡即可实现应力匹配；通过光刻、刻蚀形成所需梁结构，腐蚀衬底，释放得到由第一下层、第二下层以及上层组成的双材料悬臂梁。通过两种薄膜淀积方式淀积双材料悬臂梁中的双层结构的下层薄膜，从而在下层薄膜中引入台阶式应力梯度，控制下层薄膜的厚度来实现双材料悬臂梁力矩平衡，进而低成本高效率地实现应力匹配。