薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、有源矩阵驱动显示装置

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法，属于半导体器件制造技术领域，其可解决现有技术制备的薄膜晶体管阵列基板的方法中由于制造工艺的条件的影响导致石墨烯的电学性能降低的问题。本发明的薄膜晶体管阵列基板的制备方法，包括在衬底上形成薄膜晶体管的步骤，所述薄膜晶体管包括有源层和保护层；所述有源层为石墨烯层；所述保护层形成于所述有源层的远离衬底一端的表面。本发明提供的薄膜晶体管阵列基板由于保护层的存在使对石墨烯层的光刻处理不是直接对石墨烯层处理，极大的避免了掩模光刻处理的影响；同时该保护层能降低后续工艺处理对石墨烯的影响。