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残渣洗涤液

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摘要

本发明的残渣洗涤液，由溶解了选自胺和氟化物盐的至少1种溶解剂的水溶性高分子的水系溶液构成，通过使用该洗涤液，可有效洗涤除去电子线路制造时产生的残渣，并且具有对绝缘膜、低电介质层间绝缘膜、布线等的防蚀效果高、起泡少的优点。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-10-22

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 授权公告日:20050316 终止日期:20130831 申请日:20010831

专利权的终止
2005-03-16

授权

授权
2003-07-16

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-01-29

公开

公开

1. 残渣洗涤液 [P] . 中国专利： CN1193410C . 2005.03.16
2. 洗涤液瓶连接装置、洗涤液瓶及洗涤液投放装置 [P] . 中国专利： CN206858864U . 2018.01.09
3. Process for working-up oiled-up debris, scale and other similar material comprises feeding a scrubbing liquor with a flow of the debris through a scrubbing device, desiccating, drying and passing the scrubbed debris through a drying region [P] . 德国专利： DE10058789A1 . 2002-05-23

机译：处理上油的残渣，水垢和其他类似材料的方法包括：将洗涤液与残渣流一起通过洗涤装置供入洗涤液，干燥，干燥并使洗涤后的残渣通过干燥区域
4. WASHING LIQUID AND WASHING METHOD FOR DRY ETCHING RESIDUE [P] . 日本专利： JP2008047831A . 2008-02-28

机译：干刻残渣的洗涤液和洗涤方法
5. Converting the residue from acetylene gas prodn to gypsum - by adding it to a scrubbing liquid and working up the calcium sulphate that pptes. [P] . 德国专利： DE2522439A1 . 1976-12-09

机译：将残余物从乙炔气生产的残渣转化为石膏-通过将其添加到洗涤液中并处理可分解的硫酸钙来实现。