高迁移率、高稳定性金属氧化物薄膜晶体管及其制备工艺

摘要

一种高迁移率、高稳定性金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法。有源层由一个或多个子有源层叠置而成，每个子有源层由载流子隔离层和载流子传输层构成；最底层的载流子隔离层与栅极绝缘层接触，最底层的载流子隔离层之上为最底层的载流子传输层，上一层的载流子隔离层、载流子传输层依次叠设于下一层的载流子传输层；载流子隔离层和载流子传输层均为非晶金属氧化物薄膜；载流子隔离层的载流子迁移率为a，载流子传输层的载流子迁移率为b，b>a；每一个子有源层中，|E_a1|>|E_a2|。本发明的金属氧化物薄膜晶体管同时具有高迁移率和高稳定性。