公开/公告号CN103053011B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201180037768.0
申请日2011-06-22
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:36:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-23
授权
授权
2013-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20110622
实质审查的生效
2013-04-17
公开
公开
机译: /用于中性/离子通量控制的双等离子体积处理装置
机译: /用于中性/离子通量控制的双等离子体积处理装置
机译: /用于中性/离子通量控制的双等离子体积处理装置