一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法

摘要

本发明公开了一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法。脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置，包括用于发生脉冲激光束的脉冲激光束发生装置、用于放置待烧蚀聚合物并接受烧蚀过程中所产生的冲量的冲量接收面板、用于导出烧蚀产物的筒状排气段以及覆盖在待烧蚀聚合物上部并用于在烧蚀过程中诱导等离子体产生的金属网状结构；冲量接收面板设于筒状排气段的底部，金属网状结构安装在筒状排气段和/或冲量接收面板上并覆盖于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上部，金属网状结构与待烧蚀聚合物之间留有间隙，脉冲激光束发生装置的脉冲激光束发生端朝向冲量接收面板布置，脉冲激光束发生装置所发射的脉冲激光束穿过金属网状结构并作用于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上。