包括衍射光学调制器的红外传感器

摘要

一种包括衍射光学调制器的红外传感器，包括：其一部分起第一电极作用的平板；在该平板上形成的隔离层；以及由许多其一部分起第二电极作用的桁条构成的光栅，桁条的两端支撑在该隔离层上。在衍射光学调制器中，通过调节加在第一和第二电极之间的电压，桁条和平板间的距离将发生变化，从而控制其衍射效率。在平板和许多桁条之间进一步提供有绝缘层。