一种制备铝栅极的方法和薄膜晶体管

摘要

本发明公开了一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管，其中，铝栅极，包括铝栅极本体和覆盖在所述铝栅极本体的外表面和侧壁上的盖层，盖层由热涨系数小于20的金属制备而成。由于金属盖层选择热涨系数小于20的金属，在高温时，不容易发生膨胀，当铝栅极本体发生膨胀时，产生的压缩应力被金属盖层吸收，能够防止铝栅极本体表面或者表面和侧壁发生小丘和腐蚀现象，防止栅极与源极、漏极及其引线短路。