公开/公告号CN103487200B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201310363259.8
申请日2013-08-20
分类号G01L11/02(20060101);G02B6/44(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人曹玲柱
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:36:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L11/02 授权公告日:20160309 终止日期:20170820 申请日:20130820
专利权的终止
2016-03-09
授权
授权
2014-02-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L11/02 申请日:20130820
实质审查的生效
2014-01-01
公开
公开
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