一种平面度及平行度测量装置和测量方法

摘要

本发明公开了一种平面度及平行度测量装置和测量方法，包括一个工作台面，工作台面上设有下测量座以及位于下测量座两侧的竖直滑轨，在下测量座上方设有与竖直滑轨构成上下滑动连接的上测量座，所述上、下测量座上分别设有若干绕同一竖直的环绕中心轴呈环形等分布置的第一位移传感器和第二位移传感器。测量时先用标准校验块设定第一、第二位移传感器的零值，然后测出工件各测量点的坐标值，数据处理系统即可拟合得到上、下测量面的基准平面，进而可计算出工件上、下测量面的平面度误差值、以及上测量面相对下测量面的平行度误差值。本发明可同时测量平面度和平行度，并且测量程序快捷，测量精度高，从而适合在线测量。