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模子生产过程中所用基片的一种制造方法及利用该方法得到的一种基片

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摘要

本发明涉及一种在模子制造工艺中所用基片的生产方法。本发明还涉及一种在模子制造工艺中所用的基片及在生产光盘中所用模子的一种制造方法，该方法包括对已涂覆到基片上的感光材料膜进行曝光、显影和加热。

著录项

  • 公开/公告号CN1199169C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2005-04-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 单一控制股份有限公司;

    申请/专利号CN01814652.X

  • 发明设计人 C·E·亨德里克斯;R·A·塔肯;

    申请日2001-06-25

  • 分类号G11B7/26;

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人温大鹏

  • 地址 荷兰艾恩德霍芬

  • 入库时间 2022-08-23 08:57:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-09-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/26 授权公告日:20050427 申请日:20010625

    专利权的终止

  • 2010-09-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/26 授权公告日:20050427 申请日:20010625

    专利权的终止

  • 2005-04-27

    授权

    授权

  • 2005-04-27

    授权

    授权

  • 2004-12-08

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20041105 申请日:20010625

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2004-12-08

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20041105 申请日:20010625

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2004-12-08

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20041105 申请日:20010625

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2003-12-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-12-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-10-15

    公开

    公开

  • 2003-10-15

    公开

    公开

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