光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法

摘要

一种光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法。该方法使用±1级衍射光分别与0级衍射光剪切干涉，对差分信息进行波前重建以及翻转处理，采用数值计算得到影响光栅剪切干涉仪波像差检测精度的主要系统误差项的相关参数：不同级次衍射光汇聚点间距和探测器倾斜角度，消除波像差检测中几何光程误差和探测器倾斜误差，提高波像差检测的准确度。本发明根据实际情况消除重建波前中的几何光程误差和探测器倾斜误差，提高光栅剪切干涉仪波像差检测的准确度。