复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法

摘要

本发明公开了一种真空泵泵腔结构，提供了一种结构简单、节能增效，可根据工艺要求改变真空泵的抽气速率和极限真空度的复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法，解决了现有技术中存在的抽气速率和极限真空度无法改变，从而造成不必要的能源浪费的技术问题，它包括泵体及转动连接在泵体容纳腔内的转子，在转子上径向滑动连接着旋片，旋片延伸至转子外并封抵在泵体容纳腔内壁面上，泵体容纳腔的环形内壁面呈弧形，转子转动连接在容纳腔内并与容纳腔的内壁面相切后形成上轴向切线和下轴向切线，在靠近上轴向切线的泵体两侧设有第一进气口和第二排气口，在靠近下轴向切线的泵体两侧设有第二进气口和第一排气口，且在第二进气口和第一排气口间设有可以改变进排气流方向的组合阀。