采用光学器件的声电换能器

摘要

光学声电换能器接收振动片反射的光并检测振动片的位移。将发射光大致具有均匀同心光强分布的表面发光发光器件设置在公共衬底的中心。围绕发光器件设置光电检测单元。还在衬底与振动片之间在光路上设置透镜以会聚发送到振动片的光和从振动片反射的光。