一种紫外出光屏的制作方法及制得的紫外出光屏和应用

摘要

一种紫外出光屏的制作方法及制得的紫外出光屏和应用涉及光电技术。制作方法，包括制作内层、制作窗口层，内层包括一能够受激发射紫外光的半导体材料，半导体材料生长在一可透射紫外光的紫外光透明衬底的任意一面上，在紫外光透明衬底远离半导体材料的一面淀积一氧化物，形成内层氧化物薄膜，制成内层；窗口层包括一可透射紫外光的紫外光透射基板，在紫外光透射基板的任意一面上淀积一氧化物，形成窗口层氧化物薄膜，制成窗口层；最后将内层和窗口层叠在一起，淀积有氧化物的面相对，通过使氧化物的化学键再结合，将内层与窗口层连接在一起，制成紫外出光屏。该方法工艺简单，且制得的出光屏出光效率高。