一种静电拉伸薄膜反射镜的制备方法

摘要

本发明涉及一种静电拉伸薄膜反射镜的制备方法。将薄膜反射镜中的薄膜周边固定在圆环固定装置上，电极置于薄膜正下方；电极包括中心圆形电极和呈同心圆分布的均等径向宽度的环形电极，中心圆形电极的半径为环形电极径向宽度的1.5～1.7倍；环形电极为3～10个；以中心电极半径的中心处的压强为中心电极区域的压强；以各环形电极径向中心点的压强为该环形电极区域的压强，将所述的压强转换成电压信号输入到各对应的电极上，经加工成型，得到静电拉伸薄膜反射镜。采用本发明提供的静电成形控制方法得到的薄膜反射镜三维面形，与标准抛物面比较误差小，与现有技术相比，面形精度显著提高。