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一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置净化处理混合气体的方法

摘要

一种六氟化硫和氮气混合气体分离净化处理装置净化处理混合气体的方法,涉及混合气体分离净化处理装置净化处理混合气体的方法。本发明解决现有技术存在SF

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-29

    著录事项变更 IPC(主分类):B01D53/00 变更前: 变更后: 申请日:20140813

    著录事项变更

  • 2016-06-29

    专利权的转移 IPC(主分类):B01D53/00 登记生效日:20160613 变更前: 变更后: 申请日:20140813

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-01-20

    授权

    授权

  • 2014-12-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/00 申请日:20140813

    实质审查的生效

  • 2014-12-03

    公开

    公开

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