紫外光产生用靶、电子射线激励紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法

摘要

紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）；以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的发光层（22）。发光层（22）包含粉末状或粒状的Pr︰LuAG晶体。通过将这样的发光层（22）使用在靶中，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。