公开/公告号CN102983073B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110261527.6
申请日2011-09-05
分类号
代理机构北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陈红
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3#
入库时间 2022-08-23 09:32:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
授权
授权
2013-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/308 申请日:20110905
实质审查的生效
2013-03-20
公开
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