一种利用工业含氟尾气酸提取超纯氟硅酸及二氧化硅的方法

摘要

本发明公开了一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，本发明涉及化工领域，本发明利用尾气酸同时生产出高纯度的氟硅酸和二氧化硅，工艺上是一个创造性的突破。本发明先将尾气酸生成固体氟盐，通过生成固体氟盐步骤，能得到高纯度的氟化物，然后将固体氟盐加热分解，产生较纯的四氟化硅气体，分解后得到四氟化硅气体中HCL、SO4等杂质含量都比较少。再将四氟化硅气体净化，使之达到较高的纯度。最后用超纯水吸收四氟化硅气体，生成超纯氟硅酸和超纯二氧化硅。本发明具有生产工艺流程新颖、提取的氟硅酸和二氧化硅纯度高的优点。