石墨烯的制造方法、基板上制造的石墨烯以及基板上的石墨烯

摘要

提供在基板上制造石墨烯的制造方法等。此处，在形成工序中，进行向着能够形成碳固溶于金属的固溶体的固溶温度的加热，在基板（103）上形成包含该固溶体的固溶体层（505）。而后，在除去工序中，在维持向着固溶温度的加热的状态下，从固溶体层（505）中除去金属，从而使石墨烯（102）在基板（103）上生长。固溶碳的溶剂除了包含单一元素的金属之外，还能够使用各种合金。如果通过供给蚀刻气体而从固溶体层（505）中除去金属，那么石墨烯（102）与基板（103）接触。