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具有低介电常数的多孔硅石涂层、半导体设备和涂料组合物

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摘要

本发明提供了一种介电常数低于2.5的多孔硅石涂层、包含在其中形成的该多孔硅石涂层的半导体设备、和用于形成该多孔硅石涂层的涂料组合物。该涂料组合物由在有机溶剂中的含铝的聚硅氮烷和聚丙烯酸酯或聚甲基丙烯酸酯组成。该涂料组合物被涂布并随后烧制，这样得到多孔硅石涂层。多孔硅石涂层可通过在半导体设备上形成而用作中间层电介质。

著录项

  • 公开/公告号CN1196649C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2005-04-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 克拉瑞特国际有限公司;

    申请/专利号CN00810212.0

  • 发明设计人 青木伦子;清水泰雄;

    申请日2000-06-20

  • 分类号C01B33/12;H01L21/312;H01L21/768;C09D183/16;C09D133/00;

  • 代理机构11216 北京三幸商标专利事务所;

  • 代理人刘激扬

  • 地址 瑞士穆滕茨1(CH-4132)茹索茨大街61号

  • 入库时间 2022-08-23 08:57:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B33/12 授权公告日:20050413 终止日期:20190620 申请日:20000620

    专利权的终止

  • 2015-04-29

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20150408 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-04-29

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B 33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20150408 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-04-29

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B 33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20150408 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-07-04

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20120523 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-07-04

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B 33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20120523 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-07-04

    专利权的转移 IPC(主分类):C01B 33/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20120523 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移

  • 2005-04-27

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050318 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-04-27

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050318 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-04-27

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050318 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-04-27

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050318 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-04-13

    授权

    授权

  • 2005-04-13

    授权

    授权

  • 2005-04-13

    授权

    授权

  • 2003-11-12

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030918 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2003-11-12

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030918 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2003-11-12

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030918 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2003-11-12

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030918 申请日:20000620

    专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

  • 2002-08-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-08-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-08-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-07-24

    公开

    公开

  • 2002-07-24

    公开

    公开

  • 2002-07-24

    公开

    公开

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