法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-18
授权
授权
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C08L79/08 申请日:20110225
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
机译: 用于半导体装置的聚酰亚胺树脂组合物,用于在半导体装置中形成膜的方法和半导体装置
机译: 膜形成方法,使用该膜形成方法的半导体装置的制造方法,膜形成装置以及半导体装置
机译: 膜形成方法,使用该膜形成方法的半导体装置的制造方法,膜形成装置以及半导体装置