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具有滚轧成型表面的基座和制造所述基座的方法

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本发明一般地提供用于在等离子体反应器中支撑大面积基板的装置。在一个实施例中，在等离子体反应器中使用的一基板支撑件包括一导电主体，该导电主体包括一顶面，所述顶面具有多个滚轧成型的压印。

著录项

公开/公告号CN101978473B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN200980109686.5
发明设计人古田学;戴维·阿奇利;崔寿永;约翰·M·怀特;
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申请日2009-03-18
分类号H01L21/205(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;钟强
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:31:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-11-25

授权

授权
2012-01-25

著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/205 变更前: 变更后: 申请日:20090318

著录事项变更
2011-04-13

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20090318

实质审查的生效
2011-02-16

公开

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