法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-18
授权
授权
2014-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):B05C11/10 申请日:20130830
实质审查的生效
2013-12-25
公开
公开
机译: MEMS装置,液体点胶头,液体点胶装置,MEMS装置的制造方法,液体点胶头的制造方法,以及液体点胶装置的制造方法
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