法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-11
授权
授权
2013-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20130322
实质审查的生效
2013-06-19
公开
公开
机译: 用于制造单电池薄膜单晶硅太阳能电池的方法,用于制造背接触薄膜单晶硅太阳能电池的方法以及用于制造集成薄膜单晶硅太阳能电池的方法
机译: 单晶硅薄膜的制造方法,单晶硅薄膜装置的制造方法,太阳能电池装置的制造方法,单晶硅薄膜,以及单晶硅薄膜单晶硅薄膜
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