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在涉及歧化操作的基本闭环方法中制备多晶硅

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摘要

本申请公开了在基本闭环方法和系统中制备多晶硅。该方法和系统一般性地涉及三氯硅烷的歧化以产生硅烷或二氯硅烷，和硅烷或二氯硅烷的热分解以产生多晶硅。

公开/公告号CN103260716B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-10-14

原文格式PDF
申请/专利权人 MEMC电子材料有限公司;
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申请/专利号CN201180061070.2
发明设计人 P·古普塔;Y·黄;S·布萨拉普;
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申请日2011-12-16
分类号B01D3/00(20060101);B01J8/18(20060101);B01J19/18(20060101);C01B33/02(20060101);C01B33/023(20060101);C01B33/029(20060101);C01B33/107(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人张蓉珺;林柏楠
地址美国密苏里州
入库时间 2022-08-23 09:30:02

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-01-01

专利权的转移 IPC(主分类):B01D3/00 登记生效日:20181213 变更前: 变更后: 申请日:20111216

专利申请权、专利权的转移
2019-01-01

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B01D3/00 变更前: 变更后: 申请日:20111216

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-10-14

授权

授权
2013-09-18

实质审查的生效 IPC(主分类):B01D3/00 申请日:20111216

实质审查的生效
2013-08-21

公开

公开

1. 在涉及歧化操作的基本闭环方法中制备多晶硅 [P] . 中国专利： CN103260716B . 2015.10.14
2. 在基本闭环的方法和系统中制备多晶硅 [P] . 中国专利： CN107555438A . 2018-01-09
3. Production of polycrystalline silicon in substantially closed-loop processes that involve disproportionation operations [P] . 美国专利： US10407309B2 . 2019-09-10

机译：在涉及歧化操作的基本闭环过程中生产多晶硅
4. - PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON IN SUBSTANTIALLY CLOSED-LOOP PROCESSES THAT INVOLVE DISPROPORTIONATION OPERATIONS [P] . 韩国专利： KR101873923B1 . 2018-08-02

机译： -涉及歧化操作的基本上闭环过程中的多晶硅的生产
5. PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON IN SUBSTANTIALLY CLOSED-LOOP PROCESSES THAT INVOLVE DISPROPORTIONATION OPERATIONS [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2654912B1 . 2016-04-20

机译：涉及歧化操作的基本闭环过程中的多晶硅的生产