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一种连续波磁控管阴极的制备方法

摘要

本发明公开了一种连续波磁控管阴极的制备方法,该方法包括阴极的绕制,阴极的定型,阴极抛光等步骤。本发明提供的制备方法,可操作性强,工艺设计合理,具有优异的耐轰击、耐高温优点,使用寿命长,并且性能稳定可靠,可满足大功率连续波磁控管的装配要求,应用范围广泛。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-21

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J9/02 授权公告日:20150902 终止日期:20180531 申请日:20130531

    专利权的终止

  • 2015-09-02

    授权

    授权

  • 2013-09-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J9/02 申请日:20130531

    实质审查的生效

  • 2013-08-28

    公开

    公开

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