公开/公告号CN103268848B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 南京三乐电子信息产业集团有限公司;南京三乐微波技术发展有限公司;
申请/专利号CN201310212940.2
申请日2013-05-31
分类号
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司;
代理人杨海军
地址 210009 江苏省南京市浦口经济开发区光明路5号
入库时间 2022-08-23 09:29:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J9/02 授权公告日:20150902 终止日期:20180531 申请日:20130531
专利权的终止
2015-09-02
授权
授权
2013-09-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J9/02 申请日:20130531
实质审查的生效
2013-08-28
公开
公开
机译: 一种间接加热的阴极的制造方法,特别是用于磁控管高振动功率的阴极,以及根据该方法制备的阴极
机译: 一种通过阴极溅射工艺制备厚度连续减小的导电金属层的方法