法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
授权
授权
2012-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/02 申请日:20100429
实质审查的生效
2012-04-25
公开
公开
机译: “用于在至少两个样本之间进行光学比较的方法和装置,最好是通过比较可选择的切口,以及采用一种用于执行该过程的装置”
机译: 用于通过至少比较两个站点来进行至少两个样本之间的光学比较的方法和设备,并且还将该设备应用于执行该方法
机译: 用于进行至少两个图案之间的光学比较的方法和装置,优选地通过比较可选部分来进行