基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置

摘要

本发明提供了一种基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置，可在特定基底或者微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料，用于构筑全固态微纳米器件。所述方法包括：构筑微纳米尺度的电化学反应器，以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内；以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境，以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。所述装置包括微纳米尺度的电化学反应器、电化学工作站、微纳米精度的三维微动系统、视频监视器和信息处理计算机。