双曲面四极杆及其加工方法和四极杆质谱仪

摘要

本发明属于分析仪器技术领域，公开了一种双曲面四极杆及其加工方法和四极杆质谱仪。该双曲面四极杆的加工方法首先粗加工出多个具有通腔的陶瓷环，并通过十字轴向切割将圆柱形金属母杆切割成四个相同的子杆，然后将切割后的圆柱形金属母杆依次轴向装配在多个陶瓷环的通腔中，最后再把四个子杆精加工成所需要的具有双曲面的双曲杆，其中，双曲面的场半径均相同，形成一个完善的双曲场，保证了双曲面四极杆的精度，使得四极杆质谱仪具有很好的性能指标。且生产成本低，整个加工过程对陶瓷环和圆柱形金属母杆的加工精度要求较低，把加工误差和装配误差合二为一，大大降低了加工难度，适合批量生产。