一种薄膜外延生长在线实时表征装置

摘要

本发明公开了一种薄膜外延生长在线实时表征装置，利用拉曼光谱信号对MOCVD设备中薄膜外延生长过程中的纳米材料微观结构进行实时、直接表征。激发光被第一分光镜反射后，由平凸透镜聚焦，通过MOCVD反应腔顶部的观察窗口，将聚焦点照射在外延片上；聚焦点照射区域被激发的拉曼光谱信号由于是在平凸透镜的聚焦点，因此绝大部分拉曼光谱信号是被平凸透镜收集到，通过第一分光镜后，汇聚在聚焦透镜的焦点上，此时该焦点处有一个共焦针孔，起到空间滤波、抑制杂散光的作用。激发光与探测光即拉曼光谱信号的光路前端单元是共用的，能够尽可能地缩小探头体积，克服反应室观察窗口的空间限制。