三(三甲基硅基)亚磷酸酯及三(三甲基硅基)磷酸酯的提纯方法

摘要

本发明公开了一种三（三甲基硅基）亚磷酸酯及三（三甲基硅基）磷酸酯提纯方法，其特征在于：含有三（三甲基硅基）亚磷酸酯或三（三甲基硅基）磷酸酯的粗品除水至含水量≤3000ppm，向其中加入含苯环结构的自由基稳定剂，再经减压精馏提纯得纯度≥99.9%的三（三甲基硅基）亚磷酸酯或三（三甲基硅基）磷酸酯。本发明公开的技术方案中添加的含苯环结构的自由基稳定剂，使产品在提纯过程中更加稳定且不易分解或造成其他副反应，同时精馏提纯后产品夹带ppm级的稳定剂，更加有利于储藏稳定或长途运输；与传统的提纯工艺相比，无“三废”产生，对环境友好，且单耗低；提纯方法收率高，所得产品纯度≥99.9%，满足电子级应用要求。