外力检测方法和外力检测装置

摘要

提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部，形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极，与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容变化，将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外，将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°～60°，优选40°～50°，然后进行测定。