含水抛光剂和接枝共聚物及其在抛光图案化和未结构化的金属表面的方法中的用途

摘要

一种含水抛光剂，其包含作为磨料的至少一种细分散于水相中且在其表面处具有多个至少一种能与待抛光表面上的金属和/或金属氧化物相互作用并与所述金属和金属阳离子形成配合物的官能团(a1)的聚合物颗粒(A)，其中所述聚合物颗粒(A)可通过在至少一种包含多个官能团(a1)的低聚物或聚合物存在下乳液聚合或悬浮聚合至少一种包含至少一个可自由基聚合双键的单体而制备；接枝共聚物，其可通过在至少一种低聚或聚合氨基三嗪-多胺缩合物存在下乳液聚合或悬浮聚合至少一种包含至少一个可自由基聚合双键的单体而制备；以及一种使用所述含水抛光剂化学机械抛光图案化和未结构化的金属表面的方法。