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公开/公告号CN103346475B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201310211088.7
发明设计人 刘建国;郭锦锦;黄宁博;孙文惠;祝宁华;
申请日2013-05-31
分类号H01S5/12(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:27:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-15
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/12 申请日:20130531
实质审查的生效
2013-10-09
公开
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