一种实现激光束远距离精确聚焦的装置

摘要

本发明提供了一种实现激光束远距离精确聚焦的装置，所述装置包括调焦装置、检焦装置两个部分。利用由检焦缩束器、哈特曼微透镜阵列与CCD相机组成的检焦装置能实时精确检测发射激光束的离焦量，通过检测的离焦量控制平移台搭载调焦扩束器次镜沿调焦扩束器光轴移动，达到控制激光束远距离精确聚焦的目的。本发明的装置结构简单，聚焦精度高，无需事先计算调焦曲线，使用方便，适合在远距离高精度激光调焦系统中应用。