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用于制造构件的方法、用于制造构件结构的方法、构件和构件结构

摘要

本发明提出一种用于制造构件的方法,其中,在第一制造步骤中提供一具有衬底、膜片和空穴区域的基本结构,膜片基本上平行于衬底的主延伸平面设置,空穴区域设置在衬底与膜片之间,空穴区域具有进入开口,并且在第二制造步骤中在空穴区域中并且尤其是在膜片的垂直于主延伸平面面向衬底的第二侧面上至少部分地设置第一导电层。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-10

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81B 7/00 授权公告日:20150708 终止日期:20170609 申请日:20090609

    专利权的终止

  • 2015-07-08

    授权

    授权

  • 2015-07-08

    授权

    授权

  • 2011-09-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20090609

    实质审查的生效

  • 2011-09-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20090609

    实质审查的生效

  • 2011-06-15

    公开

    公开

  • 2011-06-15

    公开

    公开

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