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钌或钌的氧化物薄膜的制备方法

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摘要

通过CVD法制备的钌或钌的氧化物薄膜，采用通式(I)表示的化合物作为金属钌原料：其中R₁和R₂分别代表具有1到4个碳原子的不同的烷基。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-04-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/18 授权公告日:20041117 终止日期:20110125 申请日:20000125

专利权的终止
2012-04-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/18 授权公告日:20041117 终止日期:20110125 申请日:20000125

专利权的终止
2006-10-25

专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更前: 变更后: 申请日:20000125

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2006-10-25

专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更前: 变更后: 申请日:20000125

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2006-10-25

专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更前: 变更后: 申请日:20000125

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2004-11-17

授权

授权
2004-11-17

授权

授权
2002-02-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2002-02-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2000-08-09

公开

公开
2000-08-09

公开

公开

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1. 钌或钌的氧化物薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN1176245C . 2004.11.17
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3. METHOD FOR PRODUCING BIS(ALKYLCYCLOPENTADIENYL) RUTHENIUM AND BIS(ALKYLCYCLOPENTADIENYL)RUTHENIUM PRODUCED BY THE SAME METHOD FOR PRODUCTION AND METHOD FOR PRODUCING RUTHENIUM THIN FILM OR RUTHENIUM COMPOUND THIN FILM [P] . 日本专利： JP2002145892A . 2002-05-22

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5. RUTHENIUM COMPLEX LIGAND, RUTHENIUM COMPLEX, CARRIED RUTHENIUM COMPLEX CATALYST AND THE PREPARING METHODS AND THE USE THEREOF [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1905777B2 . 2018-06-27

机译：钌络合物，钌络合物，负载钌络合物催化剂及其制备方法和用途