一价铜无氰电镀液及使用该电镀液镀铜的方法

摘要

一种自一价离子状态沉积铜、基本上不含氰化物的电镀液，该电镀液含有一种铜离子来源物、一种能将二价铜离子还原成一价铜离子的还原剂、一种用量足以将电镀液pH值维持在大约7至10之间的碱性物质，以及一种酰亚胺类配位剂如琥珀酰亚胺、3-甲基-3-乙基琥珀酰亚胺、3-甲基琥珀酰亚胺、3-乙基琥珀酰亚胺、3，3，4，4-四甲基琥珀酰亚胺或3，3，4-三甲基琥珀酰亚胺，或者一种乙内酰脲类配位剂如二甲基乙内酰脲。该基本上无氰化物的镀液也可含有导电盐、促进光亮的添加剂或者合金化金属三者中的至少一种。所述还原剂可为一种碱金属亚硫酸盐、碱金属酸式亚硫酸盐、羟胺或者肼。所述铜通常以CuCl、CuCl